WOFLY presenta una caja de maniobra de válvula de silano de alta seguridad (VMB) para potenciar la fabricación de semiconductores y fotovoltaicos

Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (WOFLY), un proveedor líder de sistemas de entrega de gas de ultra alta pureza, ha lanzado oficialmente su caja de manivela de válvulas de silano especializada (VMB).Diseñados específicamente para la distribución de gases especiales peligrosos, este nuevo sistema proporciona una doble garantía de seguridad y precisión para los procesos de misión crítica en las industrias de semiconductores, fotovoltaicos y optoelectrónica.

El silano (SiH4) es una piedra angular de la fabricación electrónica moderna, pero presenta riesgos extremos debido a su naturaleza pirofórica y explosiva.La nueva serie VMB de WOFLY® aborda estos desafíos mediante una combinación de innovación estructural y controles de seguridad inteligentes.

Distribución avanzada y control independiente

El WOFLY VMB está diseñado para dividir una sola fuente de gas en múltiples ramas de distribución independientes, suministrando gas a varias herramientas de proceso simultáneamente.Cada rama dispone de válvulas de cierre independientes y unidades de control de presión, lo que permite el mantenimiento y la solución de problemas aislados sin interrumpir el funcionamiento de otras líneas de producción.

Principales características de seguridad y excelencia técnica

1Sistema de depuración y desplazamiento inerte

Equipado con líneas de purga y vacío de nitrógeno (PN2) de alta pureza, que garantizan la eliminación exhaustiva del silano residual antes del mantenimiento o el cambio de equipo,Seguimiento estricto de las normas de seguridad para evitar la combustión espontánea en contacto con el aire.

2. Monitoreo en tiempo real y alarmas de bloqueo

Los sensores y medidores de presión integrados de alta precisión proporcionan una respuesta de milisegundos.activación del aislamiento inmediato si se detectan anomalías de presión o fugas.

3. Recinto de presión negativa

El gabinete de acero inoxidable 316L, completamente cerrado, mantiene una presión negativa estable.eliminación de riesgos para el entorno del taller.

4. Pureza de grado electrónico

Todos los componentes mojados están hechos de acero inoxidable de grado SS316L EP (electropolido).Entorno libre de partículas con una tasa de fuga de helio ≤ 1 × 10−9 atm·cc/s, preservando la integridad del gas de alta pureza.

Aplicaciones industriales de amplio alcance

La versatilidad y el diseño robusto del WOFLY Silane VMB lo convierten en la configuración estándar para:

- Fabricación de obleas semiconductoras:Es esencial para los procesos de deposición de películas delgadas como PECVD, LPCVD y ALD.

- Producción de células fotovoltaicas:Ampliamente utilizado en líneas celulares de alta eficiencia como TOPCon y HJT para deposición de película a base de silicio.

- Fabricación avanzada de pantallas:Apoyo a la producción de TFT-LCD, AMOLED y Mini/Micro LED.

- Investigación y laboratorios:Proporcionar una distribución precisa a pequeña escala para la I+D de materiales y la verificación de procesos.

"La seguridad y la pureza no son negociables en el manejo de gases especiales", dijo el Director Técnico de WOFLY. "Nuestro nuevo Silane VMB no es sólo una caja de distribución;Es un escudo de seguridad integral que permite a nuestros clientes escalar su producción con absoluta confianza.."

Para obtener más detalles sobre el VMB Silane o para explorar nuestra gama completa de soluciones de manejo de gas, visite nuestro sitio web enEl nombre de la empresa es el siguiente:o póngase en contacto con nosotros en info@szwofly.com.

Sobre WOFLY

Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (AFK/WOFLY) es una empresa de fabricación e ingeniería especializada en sistemas de entrega de gas de alta pureza.WOFLY sirve a la industria mundial de alta tecnología con reguladores de alta precisión, VMB, gabinetes de gas y soluciones integradas de tuberías.