Caja de distribución de manifold de válvulas Wofly Technology VMB para aplicaciones de silano

Caja de distribución de conjunto de válvulas VMB para silanos

Doble garantía de seguridad y precisión en la distribución de gases especiales de alto riesgo

01 Funciones principales

Distribución de múltiples rutas de fuente única, control de sucursales independiente

El equipo puede dividir un único suministro de gas silano desde un gabinete de gases especiales ascendente en múltiples ramas de suministro independientes, suministrando gas simultáneamente a múltiples unidades de proceso y admite la personalización de las ramas según sea necesario. Cada rama está equipada con una válvula de encendido/apagado independiente y una unidad de monitoreo de presión, lo que permite un control separado del flujo de gas y el cierre para mantenimiento. El mantenimiento en una sola sucursal no interfiere con el suministro normal de gas a otras sucursales, lo que minimiza el riesgo de tiempo de inactividad en la línea de producción.

Purga inerte y reemplazo de vacío para garantizar la seguridad operativa

El sistema cuenta con líneas de purga de nitrógeno (PN₂) de alta pureza y líneas de extracción al vacío integradas. Antes del mantenimiento de la sucursal, el arranque o apagado del equipo, o el desmontaje y reensamblaje de la tubería, la tubería objetivo puede someterse a un proceso completo de purga de gas inerte y reemplazo de vacío, purgando completamente el gas de silano residual de las líneas y evitando la combustión espontánea causada por el contacto del silano con el aire después de abrir la válvula. Esto cumple plenamente con los requisitos de operación de seguridad para sistemas de silano descritos en las Normas técnicas de ingeniería para sistemas de gases especiales.

Tubería de acero inoxidable de grado 316LEP

Monitoreo de presión en tiempo real y alertas de interbloqueo de condiciones anormales

Cada ramal está equipado con manómetros y sensores de presión de alta precisión que muestran las condiciones de presión en tiempo real en la entrada y salida, y admiten la configuración de alarmas de límite de presión superior e inferior. Combinado con válvulas neumáticas de cierre de emergencia, el sistema puede cortar rápidamente el ramal correspondiente (o incluso el suministro principal de gas) al detectar riesgos como presión anormal o fugas de gas. Activa alarmas audibles y visuales y se integra con el sistema de control central de la planta para lograr una respuesta de emergencia a nivel de milisegundos.

Protección sellada de presión negativa, control de fugas centralizado

El sistema emplea una estructura de gabinete completamente cerrada, con un puerto de escape superior y una rejilla de entrada inferior, para mantener una presión negativa estable dentro del gabinete durante la operación. Incluso en el caso de un rastro de fuga, el gas silano se confina dentro del gabinete y se extrae centralmente a través del sistema de escape a la unidad de tratamiento de gases de escape, evitando que el gas filtrado se propague al taller de producción y eliminando los riesgos de combustión espontánea y envenenamiento a nivel espacial.

02 Características principales

Diseño de seguridad específico para gases de alto riesgo

Optimizado específicamente para las propiedades explosivas y de autoignición del silano, el sistema puede equiparse con detectores de gas silano incorporados y dispositivos de detección de llamas. Todos los componentes eléctricos cumplen con las especificaciones a prueba de explosiones y el mecanismo de bloqueo de seguridad multicapa cumple totalmente con los estándares de control para gases especiales de alto riesgo, superando con creces el nivel de seguridad de los VMB de gas inerte estándar.

Suministro de gas de alta pureza de grado electrónico

Todos los componentes de flujo están hechos de acero inoxidable SS316L de grado EP con superficies internas pulidas electrolíticamente. Las tuberías se fabrican mediante un proceso de soldadura de rieles totalmente automatizado, lo que garantiza que no haya esquinas muertas ni liberación de partículas. Las válvulas se someten a pruebas de fugas de helio con una tasa de fuga de ≤1×10⁻⁹ atm・cc/s, lo que garantiza que la pureza del gas silano se mantenga intacta durante todo el proceso y cumpla con los requisitos de los procesos de fabricación de alta precisión.

El diseño de suelo ofrece una adaptabilidad superior

El diseño del soporte de suelo proporciona una mayor capacidad de carga y elimina la necesidad de una instalación montada en la pared. Se puede colocar de manera flexible en diversos entornos, como alrededor de salas blancas o a lo largo de corredores de gases especiales, lo que lo hace más adaptable a diseños complejos de líneas de producción en comparación con los VMB montados en la pared.

Válvulas internas VMB / Válvulas de diafragma / Manómetros

03 escenarios de aplicaciones principales

Fabricación de obleas semiconductoras

Compatible con procesos de deposición de películas delgadas como PECVD, LPCVD y ALD en líneas de producción de obleas, este sistema distribuye con precisión gas silano a múltiples dispositivos de recubrimiento, lo que garantiza la estabilidad del proceso para la deposición de películas de nitruro de silicio y óxido de silicio. También cumple con los requisitos de control de seguridad para gases de alto riesgo en salas blancas, lo que la convierte en la configuración estándar para la distribución secundaria de gases especiales en fábricas de obleas.

Producción de células fotovoltaicas

Ampliamente utilizado en líneas de producción de células de alta eficiencia como TOPCon, HJT y heterounión, este sistema permite la distribución de gas silano a múltiples máquinas durante los procesos de dopaje y deposición de películas delgadas basadas en silicio. Satisface las demandas de suministro continuo de gas de las líneas de producción fotovoltaica de alta capacidad y, al mismo tiempo, proporciona flexibilidad para modernizaciones y ampliaciones de líneas, lo que ayuda a reducir costos y mejorar la eficiencia.

-VMB-

Fabricación de pantallas y optoelectrónicas de próxima generación

Al prestar servicio en líneas de producción de paneles de visualización TFT-LCD, AMOLED y Mini/Micro LED, así como en campos como preformas de fibra óptica y semiconductores compuestos, proporcionamos dispensación y entrega de silano estable y controlable para procesos de grabado y deposición de películas delgadas, adaptados a los diseños de suministro de gas de múltiples máquinas a gran escala de líneas de producción de alta generación.

Institutos de investigación y laboratorios de pruebas

Proporciona soluciones de distribución de silano a pequeña escala para I+D de materiales y plataformas de validación de procesos en laboratorios universitarios e instituciones de investigación, equilibrando la seguridad operativa con la precisión del suministro de gas para satisfacer las necesidades de aplicaciones de gas experimentales en lotes pequeños y en múltiples condiciones.

Ventajas de loboProductos y servicios de tecnología

1. I+D y fabricación internos, con capacidades de personalización excepcionales

Como empresa de alta tecnología a nivel nacional y una empresa "especializada, refinada, distintiva e innovadora", Wofly Technology posee capacidades independientes de investigación y desarrollo y fabricación. La empresa ha establecido su propia base de producción de 8.000 metros cuadrados, completa con talleres de montaje de salas blancas Clase 100 y Clase 1.000. Todo el proceso de producción de toda la serie de productos VMB, desde el diseño de la solución y el ensamblaje de válvulas hasta las pruebas y el envío, se completa internamente. Los productos se pueden personalizar completamente para cumplir con los requisitos específicos del cliente con respecto a la cantidad de salidas de gas, parámetros de presión, modos de control y escenarios de instalación, atendiendo a las necesidades de las líneas de producción en diversas industrias y de diferentes escalas.

Vista interna del VMB diseñado específicamente para silanos

2. Cualificaciones completas y cumplimiento garantizado

La empresa cuenta con calificación de contratación especializada para la construcción de proyectos de instalaciones mecánicas y eléctricas, calificación GC2 para el diseño e instalación de tuberías de presión y Permiso de Seguridad en el Trabajo. Nuestros productos han obtenido múltiples certificaciones, incluidas CE e ISO 9001. El diseño y la fabricación cumplen estrictamente los estándares nacionales para ingeniería de gases especiales, como GB 50646. Todos los equipos se someten a pruebas exhaustivas de fugas de helio y pruebas funcionales antes de salir de fábrica, lo que garantiza que estén listos para funcionar conforme a las normas en el momento de la entrega.

Un recorrido porloboSala blanca de tecnología clase 1000

3. Servicio integral en toda la cadena industrial

Yendo más allá del simple suministro de equipos individuales, Wofly Technology ofrece una solución integral e integral que cubre todo el proceso, desde la planificación de gasolineras especializadas, la instalación de la tubería principal y el diseño del nodo de distribución VMB hasta la tubería secundaria final. Esta solución abarca todo el ciclo de vida, incluida la consultoría técnica, el diseño del sistema, la prefabricación e instalación, las pruebas y la aceptación, y la capacitación en operaciones y mantenimiento. Los clientes no necesitan coordinarse con múltiples proveedores, lo que reduce significativamente los costos de gestión y comunicación del proyecto.

Vista interna del VMB diseñado específicamente para silanos

4. Más de una década de experiencia en la industria y amplia experiencia en implementación

Con más de una década de profunda experiencia en el campo de los gases especiales para la industria electrónica, nuestros servicios abarcan múltiples sectores, incluidos semiconductores, fotovoltaicos, biofarmacéuticos e institutos de investigación. Hemos implementado con éxito cientos de proyectos de ingeniería de sistemas de gases especiales. Nuestro equipo central posee una amplia experiencia en el diseño y construcción de sistemas de gases especiales de alto riesgo, lo que nos permite responder rápidamente a las necesidades de los clientes y brindar soluciones óptimas adaptadas a las condiciones operativas reales.

loboExposición de gabinetes de gases especiales y VMB de tecnología

Como "centro final" de los sistemas electrónicos de gases especiales, el VMB específico para silanos es un componente fundamental para garantizar un suministro de gas seguro, estable y de alta pureza a las líneas de producción. Wofly Technology continuará priorizando la tecnología, optimizando iterativamente sus productos para diversas condiciones operativas de gases especiales de alto riesgo para brindar a la industria manufacturera de alta gama soluciones de sistemas de gases especiales más confiables y personalizadas.