La tecnología de gran pureza de la instalación de tubos de gas es una parte importante del sistema de suministro de gas de gran pureza, que es la tecnología clave para entregar el gas de gran pureza requerido al punto del uso y todavía para mantener la calidad calificada; La tecnología de gran pureza de la instalación de tubos de gas incluye el diseño correcto del sistema, la selección de colocaciones y los accesorios, construcción e instalación, y prueba. Estos últimos años, los requisitos cada vez más estrictos en la pureza y el contenido de impureza de gases de gran pureza en la producción de productos de la microelectrónica representados por los circuitos integrados en grande han hecho la tecnología aflautada de gases de gran pureza trataron y acentuaron cada vez más. Lo que sigue es una breve descripción de la instalación de tubos de gas de gran pureza de la selección material de construcción, así como de gestión del aceptación y diaria.
Tipos de gases comunes
Clasificación de gases comunes en la industria de electrónica:
Gases comunes (gas a granel): hidrógeno (H2), nitrógeno (N2), oxígeno (O2), argón (A2), etc.
Los gases de la especialidad son SiH4, PH3, B2H6, A8H3, CL, ácido clorhídrico, CF4, NH3, POCL3, SIH2CL2 SIHCL3, NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR SF6 ...... etc.
Los tipos de gases especiales se pueden clasificar generalmente como el gas corrosivo, el gas tóxico, el gas inflamable, el gas combustible, el gas inerte, etc. Los gases de uso general del semiconductor se clasifican generalmente como sigue.
(i) corrosivo/gas tóxico: Ácido clorhídrico, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… etc.
(ii) gas de la inflamabilidad: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO… etc.
(iii) gas de la combustibilidad: O2, Cl2, N2O, NF3… etc.
(iv) gas inerte: N2, CF4, C2F6, C4F8, SF6, CO2, Ne, Kr, él… etc.
Muchos gases del semiconductor son dañinos al cuerpo humano. Particularmente, algunos de estos gases, tales como combustión espontánea SiH4, mientras un escape reaccione violentamente con el oxígeno en el aire y comience a quemar; y AsH3 altamente tóxico, cualquier salida leve puede causar el riesgo de vida humana, está debido a estos peligros obvios, así que los requisitos para la seguridad del diseño de sistemas son particularmente altos.
Alcance de uso de gases
Como materia prima básica importante de la industria moderna, los productos del gas son ampliamente utilizados, y un gran número de gases comunes o los gases especiales se utilizan en metalurgia, acero, petróleo, industria química, maquinaria, electrónica, vidrio, cerámica, materiales de construcción, la construcción, la transformación de los alimentos, la medicina y sectores médicos. El uso del gas tiene un impacto importante en la alta tecnología de estos campos particularmente, y es su gas imprescindible de la materia prima o gas de proceso. Solamente con las necesidades y la promoción de diversos nuevos sectores industriales y ciencia y tecnología modernas, los productos de la industria petrolera se pueden desarrollar a pasos agigantados en términos de variedad, calidad y cantidad.
Uso de gas en industria de la microelectrónica y del semiconductor
El uso del gas ha desempeñado siempre un papel importante en el proceso del semiconductor, especialmente el proceso del semiconductor ha sido ampliamente utilizado en diversas industrias, de los ULSI tradicionales, TFT LCD a la industria microelectromecánica actual (MEMS), que utilizan el supuesto proceso del semiconductor como el proceso de fabricación de productos. La pureza del gas tiene un impacto decisivo en el funcionamiento de componentes y de producciones de producto, y la seguridad del suministro de gas se relaciona con la salud de personales y la seguridad de los funcionamientos de la instalación.
La significación de la tubería de gran pureza en transporte de gran pureza del gas
En curso de acero inoxidable la fusión y la fabricación del material, sobre 200g del gas se pueden absorber por tonelada. Después de procesar del acero inoxidable, no sólo su superficie pegajosa con los diversos contaminantes, pero también en su enrejado del metal también absorbió una determinada cantidad de gas. Cuando hay circulación de aire a través de la tubería, el metal absorbe esta parte del gas entrará la circulación de aire de nuevo, contaminando el gas puro. Cuando la circulación de aire en el tubo es flujo discontinuo, el tubo fija el gas bajo presión, y cuando la circulación de aire para el pasar, el gas por adsorción fijado por adsorción por las formas del tubo a la caída de presión para resolver, y el gas resuelto también incorpora el gas puro a
Concepto general de tecnología limpia para las tuberías de la transmisión y de la distribución
Transmisión altamente pura y limpia del cuerpo del gas con la instalación de tubos de medios que hay ciertos requisitos o controles para tres aspectos del gas de ser transportado.
Pureza del gas: El contenido de la atmósfera de la impureza en la pureza de los gGas: El contenido de la atmósfera de la impureza en el gas, expresado generalmente como porcentaje de la pureza del gas, tal como 99,9999%, también expresada como el ratio del volumen del contenido PPM de la atmósfera de la impureza, ppb, ppt.
Sequedad: la cantidad de humedad del rastro en el gas, o la cantidad llamó la humedad, expresada generalmente en términos de punto de condensación, tal como punto de condensación de la presión atmosférica -70. C.
Limpieza: el número de partículas del contaminante contenidas en el gas, tamaño de partícula del µm, cuántos particles/M3 a expresar, para el aire comprimido, generalmente también expresado en términos de cuántos mg/m3 de residuos sólidos inevitables, que cubre el contenido de aceite.
Clasificación de tamaño del agente contaminador: las partículas del agente contaminador, refieren principalmente a la tubería que friega, desgaste, corrosión generada por las partículas del metal, partículas de hollín atmosféricas, así como los microorganismos, fagos y gotitas húmedas de la condensación del gas, etc., según el tamaño de su tamaño de partícula se dividen en
a) partículas grandes - tamaño de partícula sobre los 5μm
b) Partícula - diámetro material entre los 0.1μm-5μm
c) partículas Ultra-micro - tamaño de partícula menos los de 0.1μm.
Para aumentar el uso de esta tecnología, para poder a la comprensión perceptiva de las unidades del tamaño y del μm de partícula, un sistema de situación específica de la partícula se proporciona para la referencia
Lo que sigue es una comparación de partículas específicas
Μm del tamaño de partícula del nombre del tamaño de /Particle del nombre del tamaño de /Particle del nombre (µm) (µm)
Aerosol del virus 0.003-0.0 0.03-1 microdroplet Aerosolized 1-12
Cenizas volantes de la pintura 0.1-6 del combustible nuclear 0.01-0.1 1-200
Pesticidas negro 5-10 de leche en polvo de carbono 0.01-0.3 0.1-10
Bacterias de la resina 0.01-1 0.3-30 polvos 5-100 del cemento
Humo del cigarrillo 0.01-1 polvos de la arena 0.5-5 pólenes 10-15
Cabello humano 50-120 del pesticida 0.5-10 del silicón 0.02-0.1
Arena de mar concentrada cristalizada 100-1200 del polvo 1-11 del azufre de la sal 0.03-0.5