El proceso de producción de los gases electrónicos de la especialidad incluye varios procesos tales como síntesis, purificación, relleno, análisis y prueba, mezcla y proporciónar. Para cumplir los requisitos de fabricación del semiconductor rio abajo para el contenido de la pureza y de impureza, el proceso de la purificación es muy importante. Dependiendo de la composición del gas de síntesis por aguas arriba o del gas crudo, se realiza la destilación de la baja temperatura o la purificación gradual.
Altos requisitos de la limpieza
El proceso de la preparación de gases especiales electrónicos se puede dividir en dos bloques importantes de preparación y de purificación por aguas arriba de la síntesis, que pertenece al proceso de producción químico. El tamaño de la tubería de la producción es grande, y no hay requisito especial del nivel de limpieza. Después de la purificación rio abajo, el producto se llena del gas y se mezcla para la preparación. La tubería de la producción es pequeña y tiene requisitos del nivel de limpieza. Necesita resolver la especificación estándar del proceso de fabricación del semiconductor.
Altos requisitos de aislamiento
Debido a su actividad química, los gases electrónicos de la especialidad también ponen altas demandas en los materiales y el aislamiento del sistema del proceso de producción. Apenas como los requisitos de la fabricación del semiconductor, previene la salida del interfaz causada por la introducción de impurezas o la corrosión de gases especiales. El sistema se puede también utilizar para prevenir la introducción de impurezas o la salida del interfaz causada por la corrosión de gases especiales.
Requisitos de alta calidad de la estabilidad
La calidad de los gases electrónicos de la especialidad incluye varios indicadores tales como contenido de la partícula de la pureza y de la impureza. Cualquier cambio en los indicadores afectará a los resultados del proceso de fabricación rio abajo del semiconductor. Por lo tanto, para asegurar la consistencia de los indicadores especiales electrónicos del producto del gas, el sistema del proceso de la preparación para controlar la estabilidad de los indicadores es también muy importante.
Debido a los requisitos químicos del EGP, el sistema de producción para la preparación del EGP, especialmente el sistema rio abajo de la actividad y de calidad de la purificación, debe cumplir los requisitos de los materiales de la pureza elevada, del alto lacre, de la alta limpieza y de la consistencia de alta calidad, y la construcción de componentes dirigidos debe cumplir los estándares de la industria fabril del semiconductor.
Como qué nos referimos comúnmente la “pureza elevada” es teóricamente la definición de la pureza de una sustancia, tal como gases de la pureza elevada, sustancias químicas de la pureza elevada, sistemas de proceso del etc. o los componentes de sistema del proceso que se aplican a las sustancias de gran pureza también se refieren como de gran pureza, por ejemplo sistemas de gran pureza y válvulas de gran pureza. Los sistemas electrónicos de la preparación del gas de la especialidad requieren las colocaciones del uso de la pureza elevada, las válvulas, y otros componentes flúidos, es decir, las colocaciones y las válvulas que se procesan con los materiales de la pureza elevada y los procesos de fabricación limpios, y se estructuran para la purga y la limpieza fáciles. Con alto funcionamiento de aislamiento. Estos componentes flúidos se diseñan para resolver la trayectoria del flujo de proceso del uso, usando los requisitos de la ingeniería y de la construcción de la industria del semiconductor.
Conexiones de tubería de la pureza elevada
Las conexiones del sello de cara de la junta del metal del VCR y las conexiones automáticas de la soldadura de extremo de la guía son ampliamente utilizadas en los requisitos flúidos exigentes del proceso de la pureza del sistema debido a la capacidad de resolver la transición suave de la trayectoria del flujo en la conexión, ninguna zona del estancamiento, y las altas conexiones del lacre performance.VCR forman un sello superficial estrecho sacando una junta relativamente suave del metal. Se asegura el funcionamiento repetible y constante de la conexión y del aislamiento cada vez que se quita y se substituye la junta deformada.
Los tubos se sueldan con autógena usando un sistema de soldadura orbital automático. El tubo es protegido por el gas de la pureza elevada por dentro y por fuera. El electrodo del tungsteno gira a lo largo de la órbita para la soldadura de alta calidad. La soldadura orbital completamente automatizada derrite el tubo sin la introducción de otros materiales, alcanzando una soldadura de alta calidad en varias ocasiones controlando el tubo de paredes delgadas es difícil de alcanzar con la soldadura manual.
Conexión del sello de cara de la junta del metal del VCR
Conexión orbital automática de la soldadura a tope de tubos
Válvulas de la pureza elevada
La actividad química de las altas demandas de la especialidad de los lugares electrónicos inflamables, explosivos, corrosivos, y tóxicos de los gases en el lacre de la válvula. Para mejorar la confiabilidad de aislamiento, el requisito de válvulas packingless de prevenir la salida externa, es decir, operación de transferencia del tronco de válvula y el cuerpo de válvula entre el sello usando bramidos del metal o el diafragma del metal, para eliminar la salida debido a la deformación del sello de la abrasión y de embalaje. las válvulas Bramido-selladas y diafragma-selladas son de uso general en los sistemas de proceso para los usos de gran pureza debido a la mayor confiabilidad de los sellos y de la limpieza y del reemplazo más fáciles de la purgación de los internals de la válvula.
las válvulas Bramido-selladas son una construcción packingless de la válvula de aguja que permite la regulación lenta de la abertura y del flujo. Utilizado para el gas electrónico de la especialidad que llena de requisitos del flujo de la seguridad o en las botellas de la fuente del precursor de altos requisitos de seguridad. Los sellos todos de metal de la extremidad del tronco permiten extremadamente - las temperaturas de funcionamiento bajas y se utilizan para la licuefacción criogénica de los gases electrónicos de la especialidad en los tanques del producto final después de la destilación criogénica para instalar tubos.
La válvula Springless del sello del diafragma es un 1/4" válvula broche-abierta para el uso como válvula que cambia automáticamente controlada en la tubería de la entrega. Son de uso general en la ultra-alto-presión, los usos de gran pureza debido a su trayectoria simple del flujo interno, el pequeño volumen interno, y la facilidad de la purga y del reemplazo.
las válvulas Diafragma-selladas que se cierran vía la extremidad del tronco se pueden abrir lentamente y utilizar en presiones de funcionamiento más altas que las válvulas diafragma-selladas no-saltadas. Son ampliamente utilizadas en las botellas electrónicas de alta presión de la fuente del relleno o del precursor del gas de la especialidad.
El sello secundario grita la válvula puede no sólo ser utilizado en sistemas ultrabajos del proceso de la temperatura en -200 grados, pero también previene la salida de medios peligrosos en la atmósfera. Utilizado generalmente para los gases especiales electrónicos muy peligrosos, tales como sistema de relleno del silano.
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