El uso de gases en la industria de semiconductores se remonta a principios de los años 50 y 60.Los gases se utilizan principalmente para limpiar y proteger los materiales semiconductores para garantizar su pureza y calidad.Entre los gases más utilizados se encuentran el nitrógeno y el hidrógeno.
A medida que la tecnología de semiconductores se desarrolló y los procesos de fabricación continuaron mejorando, la demanda de gases aumentó.La aplicación de gases en procesos clave como el grabado y la deposición de películas finas aumentó gradualmente., y los gases de fluoruro (por ejemplo, SF6) y el oxígeno se convirtieron en gases de grabado y deposición comúnmente utilizados.En 1980 se produjo un nuevo aumento de la demanda de gases con el desarrollo de circuitos integrados y el aumento de la demanda de estosEl hidrógeno fue ampliamente utilizado en el proceso de fabricación, incluyendo el recocido de hidrógeno y la deposición de vapor de hidrógeno.La demanda de gases de alta pureza y gases específicos ha aumentado a medida que los tamaños de los dispositivos semiconductores han seguido reduciéndose y se han introducido nuevos procesos.Por ejemplo, la aplicación de la litografía ultravioleta extrema (EUV) requiere el uso de gases de alta pureza como el nitrógeno y el hidrógeno.
El gas semiconductor continúa aumentando con el desarrollo de productos relacionados impulsados por más y más productos se revelan, mientras que el gas también pertenece a la fuente de peligro,por lo que los productos utilizados para la descompresión de gas, productos de detección de gases y productos de prevención de fugas de gas han surgido, tales como reguladores de presión, válvulas de gas, manómetros de presión de gas, detector de fugas de gas, etc., y sus funciones son las siguientes:
Los reguladores de presión: Los reguladores de presión son dispositivos utilizados para controlar la presión de los gases.Los reguladores de presión toman una entrada de gas de alta presión y estabilizan la presión del gas de salida ajustando la válvula para satisfacer los requisitos específicos de la aplicaciónLos reguladores de presión se utilizan ampliamente en áreas como la industria, la fabricación y los laboratorios, así como en la industria de semiconductores, entre otros.para garantizar la estabilidad y seguridad del suministro de gas.
Las válvulas de gas:Las válvulas de gas se utilizan para controlar el flujo de gases y para cerrar los pasajes de gas.incluidas las válvulas manualesSe utilizan ampliamente en sistemas de gas para controlar el caudal, la presión y el caudal de los gases.
Medidores de presión de los gases:Los manómetros de presión de gas se utilizan para medir el nivel de presión de un gas.Por lo general, se instalan en lugares críticos de los sistemas de gas para controlar los cambios de presión y garantizar que estén dentro de los límites de seguridad.Los manómetros de presión de gas se utilizan ampliamente en la industria, la manufactura y los laboratorios, y la industria de semiconductores también ha estado involucrada.
Detectores de fugas de gas:Los detectores de fugas de gas se utilizan para detectar fugas en los sistemas de gas. Detectan la presencia de fugas de gas y emiten una alarma para que se pueda tomar medidas oportunas para prevenir accidentes de fugas.Los detectores de fugas de gas se utilizan ampliamente en la industria., aplicaciones químicas, de petróleo y gas, y la industria de semiconductores también ha estado involucrada.